臭氧实验箱的主要工艺有核辐射法、电解法、紫外光、等离子体及电晕放电法等。应用较多的是在臭氧发生器中放电氧化空气或纯氧生成臭氧。也就是在空气中采用高能量交互电流将氧分子电离，形成臭氧。
臭氧实验箱利用紫外光辐射或暴晒，可以自然地由双原子氧形成臭氧。在工业上，采用5-25kv交流电压，在干燥空气或氧气条件下实现了静放电限值。另外，在低温条件下电解稀硫酸或对液体氧进行加热都能产生臭氧。
在大气中，臭氧是指大气中氧分子在太阳辐射下分解成氧原子后，与周围氧分子结合形成的微量气体，含有3个氧原子。
臭氧层的半衰期只有30-60分钟。因其不稳定性、易分解，不能作为常规的产品储存，需要在现场制作。由空气制成的臭氧浓度一般在10~25mg/L之间，由氧气制成的臭氧浓度为20~40mg/L。臭氧浓度为1%-4%的空气可用于消毒水。
臭氧法是利用干燥空气或干燥氧气为原料，经放电法制得。臭氧实验箱产生臭氧的另一种方法是电解，在电解中电解成氧元素，然后将自由氧转化为臭氧。
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